日本富士FUJI超聲波濃度計華聯歐代理
實時信號輸出,可以用于在線過程控制,可以和顯示器,記錄儀,電腦連接。同時也不會對溶液造成污染,易于維護。
產品描述 :
超聲波液體濃度計 單成分用半導體制造程序選件FUD-1 Model-12/1006
測量原理:
超聲波在液體中非常易于傳播。 超聲波在溶液中傳播的速度受溶液的濃度和溫度影響。「濃度變化」 「密度變化」 「音速變化」本產品利用超聲波的特性,高精度的測量溶液的濃度。測量「溶液的溫度」+「超聲波的速度」 通過CPU演算處理 濃度顯示。
示意圖:
產品用途:
CMP泥漿濃度或者CMP泥漿濃度中的H2O2的濃度測量洗凈液濃度測量((HF、NH3、H2O2、BHF、KOH、IPA等)稀釋裝置濃度測量(HF、NH3、H2O2、BHF、KOH、H2SO4、HCI、HNO3等)蝕刻過程中的濃度測量(HF、H2SO4 等)
產品特長:
可根據檢量線的交換測量各種半導體藥液的濃度。發信器小型、輕量,可直接在線裝置。免保養設計。接液部分全部采用(PFA)材料。小型輸出設計,對藥液沒有影響。產品規格:
形號
FUD-1 Model-12/Model-1006
測定參數
超聲波傳播速度、溫度
表示
LCD(濃度、溫度、音速/各種參數)
輸出信號
模擬 DC4~20mA(可對應濃度值自由設定)
數字 RS232C(濃度、溫度、音速。錯誤代碼)
警報 上?上上?下?下下限 測量異常
電源
AC100V~240V 50/60Hz
構造
配電盤支架型(DIN規格基準)?盤內設置型(根據選件可做防雨型)
周邊溫度
0~50℃ RH85%以下(不結冰時)
0~100℃ 特別規格 -10~160℃(100℃幅)
功能
輸出范圍設定、輸出警報設定、濃度表示移動平均、濃度表示偏移數據以及增值設定功能、自我診斷功能、安全裝置功能、取消異常值
RS485輸出(不能和RS232C同時輸出)選件
溫度輸出(DC4~20mA)
波道
大10ch
適合發信器
Model-12:SA-20S7/SA-20S9/SA-20M5
Model-1006:SA-20S9
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